醫(yī)用手術室淨化設備溫度要怎(zěn)麽控製
更新時間::2017-08-05 15:34:34
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層流手術室具體工藝(yì)對溫度的(de)要求以後還要列舉,但作為總的原則看,由於加工精度越(yuè)來越精細,所以對溫度波動範圍的要求越來越小(xiǎo)。例如在大規模集成電路生產的光刻(kè)曝光工(gōng)藝(yì)中,作為掩膜(mó)板材料的玻璃與矽片的熱膨脹係數(shù)的差(chà)要求越來越小。直徑100 um的矽片,溫度上升1度,就引(yǐn)起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以後,對產品將有汙染,特別是怕鈉的半導體車間,這(zhè)種(zhǒng)車間不宜超過25度(dù)

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